유진테크

증착 장비의 생산성을 이야기할 때는 한 장을 정교하게 처리하는 방식과 여러 장을 한꺼번에 처리하는 방식 사이의 긴장을 봐야 한다. 단일웨이퍼 장비는 웨이퍼별 조건 제어와 공정 유연성에 강점이 있다. 배치형 장비는 한 번에 많은 웨이퍼를 처리해 생산성을 높일 수 있지만, 배치 내부와 웨이퍼 사이의 균일성을 함께 맞춰야 한다. 유진테크의 제품군은 이 양쪽을 모두 겨냥한다.

막을 쌓기 전에 표면부터 다룬다

Albatross는 플라즈마를 이용해 DRAM·NAND·LSI의 산화와 질화, 3D NAND 산화막의 치밀화 같은 표면처리를 겨냥한다. 회사가 강조하는 저손상과 균일성은 서로 떼기 어려운 가치다. 반응성을 높이려고 에너지를 과도하게 가하면 민감한 구조가 손상될 수 있고, 손상을 줄이는 데만 집중하면 필요한 반응이 충분하지 않을 수 있다. 장비의 경쟁력은 이 경계에서 원하는 표면 특성을 반복해 만드는 데서 나온다.

▲ 원형 웨이퍼를 중심으로 플라즈마 처리 장면을 표현한 Albatross 제품 이미지 — 출처: [Eugenus, unknown](https://www.eugenustech.com/products/albatross-tm)

Hawk는 그보다 앞단의 세정 문제를 맡는다. 깊은 접촉구에 금속이나 반도체 물질을 채우기 전, 또는 Si·SiGe·III-V 계열 에피택시 공정 전에 표면 오염과 자연산화막을 건식으로 제거하는 장비다. 미세 구조가 깊고 좁아질수록 표면의 작은 잔류물도 이후 막의 접착과 전기적 특성에 영향을 줄 수 있다. 세정 장비를 보유한다는 것은 별도 시장 하나를 추가한다는 뜻뿐 아니라, 증착 결과를 좌우하는 직전 단계까지 고객과 대화할 수 있다는 의미다.

배치형 ALD는 생산성과 균일성의 시험대다

Harrier-L은 thermal 및 plasma-enhanced ALD/LPCVD를 지원하는 대형 배치 플랫폼이다. 회사 설명상 한 배치에 최대 150장을 처리하며 웨이퍼 사이의 균일성을 목표로 한다. Harrier-M은 규모를 줄인 미니배치 ALD로, 저불순물·균일성과 빠른 purge를 내세운다. purge는 한 단계의 반응가스와 부산물을 챔버에서 빼내 다음 반응이 뒤섞이지 않게 하는 과정이다. 이 시간이 짧아지면 정밀도를 훼손하지 않으면서 장비의 처리 속도를 높일 여지가 생긴다.

▲ 클린룸·산업 현장에 놓인 대형 배치형 반도체 장비의 전면과 모듈 구조 — 출처: [ZDNet Korea, 2024-02-14](https://zdnet.co.kr/view/?no=20240214102323)

제품 목록이 곧 매출 구성을 뜻하지는 않는다. BlueJay의 적용처, Albatross의 처리 범위, Harrier 계열의 기술 목표와 Hawk의 세정 대상은 공식 제품 설명으로 확인된다. 그러나 제품별 고객 수, 양산 채택 범위와 매출 기여도는 공개되지 않았다. LPCVD에서 ALD·플라즈마·세정으로 이어지는 폭은 확인된 포트폴리오이고, 그 폭이 고객 공정 안에서 얼마나 큰 지갑으로 바뀌었는지는 별도로 살펴야 한다.

반도체 장비는 완제품을 진열해 두고 주문 즉시 배송하는 상품이 아니다. 고객의 소자 구조, 막질, 온도 범위와 생산라인 조건에 맞춰 제작한 뒤 현장에 설치하고 공정 조건을 잡아야 한다. 같은 이름의 장비라도 실제 양산 라인에서는 레시피와 부속 구성이 달라질 수 있다. 유진테크가 장비 제작·납품·설치를 하나의 결과물로 묶는 회계 판단은 이런 사업 현실을 반영한다.

고객 여정은 대체로 기술 협의, 주문, 제작, 납품, 설치, set-up과 검수로 이어진다. 돈의 관점에서는 앞 단계에서 수주가 생기고 마지막 단계에 가까워져야 매출이 완성된다. 현장에서는 고객의 라인 준비나 장비 입고 일정이 늦어지면 제작을 마친 장비도 매출 인식까지 기다릴 수 있다. 반대로 여러 장비의 설치와 검수가 한 시기에 몰리면 분기 사이의 외형과 이익이 빠르게 움직일 수 있다.

▲ 여러 장비 모듈 사이에 놓인 유진테크 BJM1000 LPCVD 장비의 실물 — 출처: [Machinio, unknown](https://www.machinio.com/listings/44016192-eugene-technology-bjm1000-in-gyeonggi-do-south-korea)

검수를 통과한 뒤에는 설치 기반이 남는다. 장비가 고객 라인에서 계속 가동되면 품질보증과 유지보수, 교체 부품 수요가 이어질 수 있다. 동시에 문제가 발생했을 때 대응해야 하는 책임도 길어진다. 이 사업에서 서비스 조직은 부수적인 수리 창구가 아니라 장비의 재현성과 다음 발주 가능성을 지키는 일부다.

주요 메모리 업체에 공급한 이력은 신규 공정 협의에 참여할 수 있는 경험을 보여 준다. 하지만 반도체 회사는 새 장비를 넣을 때 생산성, 결함, 막질과 장기간의 안정성을 검증한다. 한 번의 공급 이력이 모든 세대의 자동 채택을 보장하지는 않는다. 유진테크가 벌어야 하는 신뢰는 회사 이름이 아니라 새 소자 구조와 새 공정 조건에서 다시 증명되는 결과다.

2025년: 외형 증가와 이익 감소가 함께 나타났다

2025년 연결 매출은 3,503.24억원, 영업이익은 516.72억원, 당기순이익은 444.82억원이었다. 매출은 전년보다 3.6% 늘었지만 영업이익은 15.5% 줄었다. 단순 계산한 영업이익률은 약 14.8%다. 외형의 방향만 보면 성장했지만, 제품 구성과 원가·연구개발 부담을 통과한 이익의 방향은 달랐다. 같은 해 영업활동현금흐름은 664.77억원으로 플러스를 기록했다.

사업부문별로는 반도체장비가 2,837.28억원으로 전체의 81.0%를 차지했다. 반도체용 산업가스·소재는 148.53억원, 4.2%였고 기타는 517.43억원, 14.8%였다. 핵심 엔진이 장비라는 점은 분명하지만, 연결 매출 전부를 LPCVD 장비 매출로 읽어서는 안 된다. 수출 비중도 해외 고객과 자회사를 포함한 연결 활동의 결과이므로 특정 제품이나 특정 고객의 성과로 곧장 귀속할 수 없다.

미국 자회사 Eugenus는 2025년 매출 1,162억원과 순손실 68억원을 기록했다. 해외 사업이 이미 의미 있는 외형을 갖췄지만 수익성까지 같은 속도로 따라오지는 않았다는 뜻이다. Albatross를 비롯한 관계사 제품의 기술적 확장은 확인되지만, 연결 이익 기여를 평가할 때는 자회사 손실을 함께 봐야 한다.

1분기: 매출보다 빠르게 늘어난 영업이익

2026년 1분기 연결 매출은 1,018.74억원, 영업이익은 188.34억원, 당기순이익은 228.16억원이었다. 전년 동기 매출 832억원과 영업이익 92억원보다 각각 증가했다. 단순 계산한 영업이익률은 약 18.5%로, 2025년 연간 수준보다 높다. 다만 장비업은 설치와 검수 시점에 따라 분기 제품 구성이 달라질 수 있으므로 한 분기의 마진을 정상 수준으로 고정해 읽는 데에는 주의가 필요하다.

분기 중 새로 들어온 계약이 수익인식액보다 컸고, 그 결과 기말 수주잔고는 기초보다 늘었다. 잔고는 향후 매출의 출발점이지만 곧바로 같은 금액의 다음 분기 매출을 뜻하지 않는다. 장비 제작, 고객 라인 입고, set-up과 검수가 남아 있기 때문이다. 수주잔고의 크기와 함께 실제 전환 속도를 봐야 하는 이유다.

생산과 현금 회수의 경계

전공정 장비는 전량 주문생산 방식이며 공시된 연간 생산능력은 240대다. 이 숫자는 만들 수 있는 물리적 범위를 나타낼 뿐 가동률이나 판매량과 같지 않다. 제품별 난이도와 구성, 외주 활용, 설치 인력 및 고객 일정이 실제 처리량을 바꿀 수 있다.

국내 판매는 통상 납품 시 대금의 90%, 검수 완료 시 10%를 받는 구조로 공시됐다. 현금의 상당 부분은 납품에서 들어오지만 매출은 set-up 완료라는 조건을 통과해야 한다. 장비가 공장 문을 나서는 시점, 현금이 들어오는 시점, 회계상 매출이 잡히는 시점이 완전히 일치하지 않을 수 있다.

2026년 8월 12일을 기준으로 확인되는 최신 법정 분기 수치는 1분기다. 2분기·반기 확정치는 확인되지 않았으므로 이후 업황 해석을 확정 숫자처럼 섞지 않는 편이 안전하다.

유진테크는 2000년 설립됐고 2006년 코스닥에 상장했다. 회사 연혁에는 삼성전자, SK하이닉스와 Micron으로 이어지는 공급 이력과 장비 개발 과정이 함께 기록돼 있다. 역사의 핵심은 고객 이름을 수집한 데 있지 않다. 국내 전공정 장비 업체가 메모리 생산라인의 공정 조건을 경험하고, 다음 장비와 다음 세대 공정으로 접점을 넓혀 온 과정에 있다.

▲ 회사 로고와 상담 공간이 보이는 SEMICON Korea 2015 유진테크 전시 부스 — 출처: [여기에뉴스, 2015-03-06](https://yeogienews.com/today/101538)

2017년에는 미국 Aixtron의 ALD/CVD 사업부문을 영업양수했다. 이 사건은 LPCVD 중심 회사가 ALD와 해외 기술·고객 접점을 넓히려 한 전환으로 읽힌다. 현재 공식 제품군에 단일웨이퍼 LPCVD, 플라즈마 처리, 대형·미니 배치 ALD/LPCVD와 건식세정이 함께 놓인 배경이기도 하다.

다만 인수한 기술과 제품 이름이 양산 매출을 자동으로 만들어 주지는 않는다. 반도체 장비의 가치는 고객 라인에서 반복 운전하고 다음 공정 세대로 이어질 때 누적된다. 해외 자회사의 제품 확대는 선택지를 늘리지만, 개발·고객평가·지원조직에 들어가는 비용도 함께 요구한다. 확장은 제품 지도의 폭이고, 수익성은 그 지도가 실제 발주와 검수를 통과한 결과다.

▲ 파란색 외벽과 생산동이 보이는 유진테크 이천공장 증축 건물 — 출처: [태조건설, Undated (accessed 2026-08-12)](https://taejocon.com/27/?bmode=view&idx=3704639)

공장 건물은 장비 사업의 또 다른 면을 보여 준다. 정밀한 반응기와 가스 공급계, 제어 모듈을 조립하는 일뿐 아니라 고객 일정에 맞춰 여러 프로젝트를 병행하고 설치 인력을 움직이는 운영 기반이 필요하다. 연구실에서 원하는 막을 한 번 만드는 것과 양산 고객에게 같은 성능의 장비를 반복 공급하는 일 사이에는 생산거점과 품질체계라는 긴 다리가 놓여 있다.

2026년 시장의 낙관론은 DRAM 공정전환과 증설이 장비 발주로 이어지고, 발주된 LPCVD 등 전공정 장비가 실제 입고·설치·검수를 거쳐 매출로 전환된다는 시나리오에 기대고 있다. 증권사들은 고객사의 증설 의지와 DRAM 투자 사이클을 긍정적으로 해석했다. 이는 회사가 확정한 개별 고객 수주액이나 공식 가이던스가 아니라 업황과 투자계획을 연결한 시장의 조건부 전망이다.

이 시나리오가 설득력을 가지려면 세 개의 변환이 필요하다. 고객의 투자계획이 실제 장비 주문으로 바뀌어야 하고, 주문 중 유진테크가 담당하는 공정과 제품의 몫이 확인돼야 하며, 만들어진 장비가 고객 일정에 맞춰 검수까지 끝나야 한다. 메모리 가격 상승이나 설비투자 발표만으로 마지막 단계까지 건너뛸 수는 없다.

반대편에서는 고객의 투자 집행과 장비 입고가 늦어질 가능성이 있다. 연구개발과 원가 부담이 이어지면 매출이 늘어도 마진 회복이 지연될 수 있다는 관찰도 제시됐다. 이 역시 확정된 손실이 아니라 장비업의 일정 민감성과 비용 구조에서 나온 하방 조건이다.

시장점유율은 특히 조심해서 다뤄야 한다. 회사는 프로젝트별 수주 변동과 고객 보안정책 때문에 정확한 점유율 산정이 어렵다고 설명한다. 고객별 매출과 제품별 양산 채택 규모도 공개되지 않는다. 따라서 ‘주요 고객 공급사’라는 사실과 특정 공정에서 지배적인 점유율을 갖는다는 주장은 같은 문장이 아니다.

배치형 ALD를 둘러싼 경쟁은 기술뿐 아니라 지식재산의 영역에서도 벌어진다. 2024년에는 유진테크와 일본 코쿠사이 사이의 배치 ALD 장비 특허소송 쟁점이 보도됐다. 제공된 범위에서는 소송의 최종 귀결이나 현재 영향이 확인되지 않으므로 승패를 단정할 수 없다. 다만 배치 공정의 반응기 구조와 운용 방식이 상업적 가치가 큰 경쟁 영역이라는 점은 드러난다.

유진테크의 경쟁력은 제품 수를 세는 것보다 고객 공정의 인접 문제를 얼마나 연속해서 해결할 수 있는지에 달려 있다. BlueJay가 막을 형성하고, Albatross가 표면을 처리하며, Harrier가 배치형 정밀 증착을 겨냥하고, Hawk가 증착 전 세정을 맡는다. 이 구성이 고객과의 기술 대화를 넓혀 주는 것은 분명하다. 그러나 각 제품이 실제 양산 라인에서 차지하는 비중은 따로 공개되지 않았다.

핵심 위험도 같은 자리에서 나온다. 반도체 고객의 투자가 미뤄지면 주문과 입고가 늦어진다. 설치가 끝나지 않으면 수주가 매출로 넘어오는 속도도 느려진다. 새 공정을 겨냥한 연구개발은 성공하면 제품 지도를 넓히지만, 고객평가가 길어지면 비용이 먼저 나타난다. 해외 사업은 고객과 기술의 범위를 키우는 동시에 현지 지원과 조직 운영의 부담을 동반한다.

그렇다고 이 회사를 메모리 설비투자의 단순 대리변수로만 읽는 것도 충분하지 않다. 고객 투자는 출발점이고, 결과를 가르는 것은 막질·균일성·처리량·저손상 같은 공정 성능과 현장 대응이다. 반대로 좋은 장비가 있다는 설명만으로도 부족하다. 주문생산 장비는 고객이 선택하고, 설치팀이 set-up을 마치며, 양산라인이 결과를 반복해 내야 비로소 사업이 완성된다.

흰색 장비 모듈이 고객 공장에 들어간 뒤에는 화려한 장면이 거의 없다. 반응가스가 공급되고, 웨이퍼가 이동하며, 같은 두께의 막이 다시 만들어지는 일이 이어질 뿐이다. 유진테크가 쌓아 온 역사는 결국 그 반복을 고객의 다음 공정과 다음 발주까지 연결하는 과정이다. LPCVD에서 ALD·플라즈마·세정으로 넓어진 현재의 제품 지도도 그 반복성을 입증하는 만큼만 경제적 가치가 된다.