파크시스템스

산업용 장비 판매와 반복 매출 구조

• 장비 판매 · 산업용 NX-Wafer·NX-3DM·NX-Mask·NX-TSH와 연구용 NX10·NX20·NX1이 두 축이다. 산업용은 웨이퍼 이송, 측정 위치 지정, 프로브 교체, 분석·리포트까지 고객의 생산 레시피에 맞춰 돌아간다.

• 서비스·소모품 · 설치 장비의 유지보수, 공정별 애플리케이션 지원, 탐침 교체 수요가 장비 대수와 함께 쌓인다. 한 번 납품한 장비에서 후속 매출이 이어지는 구조다.

• 글로벌 지원망 · 미국·일본·독일·중국 등 주요 시장의 현지 법인이 장비 셋업과 고객 대응을 맡는다. 생산라인 장비는 측정 성능만큼 빠른 기술 지원이 다음 수주에 중요하다.

• 매출 인식 · 장비 설치와 고객 검수가 끝나야 매출이 잡힌다. 수주와 출하 사이에 시차가 있어 몇 대의 검수 일정만 달라져도 분기 실적이 크게 움직일 수 있다.

Accurion의 타원계·진동 차단, Lyncée의 디지털 홀로그래피, 자체 WLI까지 더해 AFM만으로 풀기 어려운 측정도 함께 제안한다.

웨이퍼 로딩부터 레시피 실행, 프로브 교체, 분석·리포트까지 자동화한 NX-Wafer 운용 흐름.

전공정에서 첨단 패키징까지

반도체 공정이 미세해질수록 광학 계측만으로 구분하기 어려운 표면 결함과 높이 차가 늘어난다. AFM은 탐침으로 나노 단위 형상을 직접 측정해 연구실 밖 생산라인으로 적용 범위를 넓혔다.

섹션 이름은 ‘전공정’이지만 제품 지형은 이미 그보다 넓다.

NX-TSH는 다음 무대를 보여준다. 회사는 2026 IR Day에서 대형 파운드리와 공급을 협의 중이라고 밝혔지만 고객명과 양산 발주는 공개하지 않았다. 아직 확정 수주로 읽을 단계는 아니지만, AFM이 웨이퍼 전공정을 넘어 첨단 패키징의 검사·리페어로 들어가는 흐름은 분명하다. 이 장비들은 불량 유무만 보는 것이 아니라 어디가 얼마나 튀고 깎였는지를 숫자로 돌려준다.

C4 Cu 범프 사이의 테이프 잔사를 찾고 리페어 프로브로 제거하는 응용 예. 계측이 실제 공정 문제 해결로 이어지는 사례다.

스탠퍼드 AFM 연구에서 두 번의 창업으로

창업자인 박상일 대표는 스탠퍼드 대학교 박사과정 시절 원자현미경(AFM)을 세계 최초로 개발한 연구팀의 핵심 멤버였던 인물이다. 그는 학계에 남아 안정적인 길을 가는 대신, 본인이 개발한 기술을 직접 상용화하기 위해 1988년 실리콘밸리에서 첫 번째 회사 '파크 사이언티픽 인스트루먼트(PSI)'를 창업하며 사업가의 길로 들어섰다.

PSI는 1997년 Thermo Spectra에 매각됐다. 박상일 대표는 같은 해 한국에서 PSIA, 지금의 파크시스템스를 다시 세웠다. 첫 회사를 팔고 끝낸 것이 아니라 AFM의 구조적 한계를 다시 풀기 위해 두 번째 회사를 만든 경로다.

AFM 발명 연구팀 참여부터 PSI 창업·매각, 한국에서의 재창업으로 이어지는 회사 공식 연혁.

창업자가 최대주주이자 CEO

2026년 6월 말 박상일 대표 지분은 32.26%, 특수관계인을 합치면 32.39%다. 창업자가 최대주주이자 최고경영자로 남아 긴 R&D와 인수합병을 직접 밀 수 있는 구조다. 조수인 전 삼성전자 사장과 남태희 Storm Ventures 공동창업자가 2026년 사외이사로 합류해 산업과 글로벌 투자 경험을 보강했다.

측정 오차를 줄이는 XY·Z 분리 구조

• 비접촉 측정 · 탐침을 시료 표면에 계속 부딪히지 않고 원자 사이 힘의 변화를 읽는다. 연한 시료와 탐침의 손상을 줄여 같은 위치를 반복 측정할 때 재현성을 높인다.

• 분리형 스캐너 · 평면을 움직이는 XY 스캐너와 높이를 읽는 Z 스캐너를 분리한다. 축 사이 간섭과 휨을 줄여 이미지 왜곡을 낮추는 구조다.

나노미터를 재는 장비에서는 큰 배율보다 작은 오차를 줄이는 일이 더 어렵다. 표면을 손가락으로 문지르지 않고 바로 위에서 굴곡을 읽는 방식에 가깝다.

대기 환경에서 원자 격자를 측정하는 NX1

2026년 출시한 NX1은 진공·극저온 같은 특수 환경 밖에서 원자 분해능을 구현하는 데 초점을 맞췄다. 레겐스부르크대 프란츠 기시블 교수의 Orpheus II 기술을 공동 개발해 상용 장비로 옮겼고, MoS2 단결정의 격자 간격을 구분한 이미지도 공개했다. 연구용 최전선에서 검증한 기술이 산업용 자동화로 이어지는 개발 경로를 보여준다.

NX1으로 얻은 MoS2 단결정의 3nm 스캔 이미지. 회사는 격자 간격 3.164Å을 구분했다고 설명한다.

산업용 수주와 첨단 패키징이 성장 변수

• 성장 기대 · EUV 공정 확대와 3D 낸드 고단화로 미세 공정 계측 수요가 늘고 있다. 상반기 말 수주잔고 1,125억원 가운데 산업용 비중은 76%다.

• 신규 적용처 · imec 공동개발 프로그램은 차세대 로직·웨이퍼 본딩·3D 패키징·CMP 계측을 다룬다. NX-TSH는 대형 파운드리와 공급 협의 단계까지 갔다.

• 생산능력 · 과천 신사옥에는 산업용 장비 최대 35대를 동시에 다룰 수 있는 클린룸이 들어섰다. 신규 장비의 고객 검증과 양산 발주가 실제 매출로 이어지는지가 핵심이다.

매출 전환 전 늘어난 비용과 희석 부담

• 수익성 부담 · 2026년 상반기 매출은 전년 동기보다 10% 줄고 영업이익은 75% 감소했다. 연구개발·인력·판매수수료 증가로 판관비가 29% 늘었고, 별도 기준 R&D 비용은 매출의 18.5%까지 올라왔다.

• 잠재 희석 · 1,000억원 규모 신주인수권부사채가 전환되면 최대 37만3,486주, 현재 발행주식의 약 5.3%에 해당하는 신주가 생길 수 있다. 수주가 매출로 넘어오는 속도가 늦으면 비용과 희석 부담이 함께 부각된다.

분기 실적 흐름 · 이익률 하락 뒤 2Q26 소폭 회복

연간 매출은 2023년 1,448억원에서 2025년 2,056억원, 영업이익은 276억원에서 422억원으로 늘었다. 다만 분기 이익률은 1Q25 25.7%에서 1Q26 5.3%까지 낮아진 뒤 2Q26 7.9%로 소폭 회복했다. 4Q25 매출이 전분기보다 25% 늘 때도 영업이익은 2% 줄어, 매출 회복만으로 비용 증가를 흡수하지 못했다.

1H26 구조 · 장비 마진은 높지만 비용 흡수가 관건

수주와 산업용 장비 비중은 살아 있지만 늘어난 비용을 아직 매출로 충분히 흡수하지 못했다. 하반기는 산업용 잔고의 매출 전환과 판관비 흡수가 함께 나타나는지가 핵심이다.

최근 주주 구성

2026년 6월 말 발행주식은 7,002,469주, 자기주식을 뺀 유통 가능 주식은 6,959,874주다. 창업자 지분이 30%를 넘는 오너십이 이어지고, 자기주식은 발행주식의 0.61%다.

1,000억원 신주인수권부사채와 잠재 희석

발행 규모 1,000억원 · 회사는 2026년 6월 만기 30년의 사모 신주인수권부사채를 발행했다. 2027년 6월부터 행사가 가능하고 최초 행사가격은 26만7,747원이다. 시설·운전자금과 M&A가 용도이며 반기 말에는 아직 쓰지 않고 예금으로 보관했다. 자금은 먼저 확보했지만 주가와 조건에 따라 희석 가능성이 오래 남는 구조다.

인수로 넓힌 계측 기술과 핵심 소모품

• Park Systems GmbH(옛 Accurion) · 2022년 인수. 이미징 분광 타원계와 활성 진동 차단 기술을 가져왔다.

• Lyncée Tec · 2025년 인수한 스위스 디지털 홀로그래피 현미경 업체. 스캔 없이 넓은 영역의 3D 형상을 빠르게 읽어 AFM의 정밀도와 처리량 사이를 메운다.

• Rocky Mountain Nanotechnology · 2026년 4월 인수한 미국 AFM 프로브 업체. 장비의 핵심 소모품을 안으로 끌어들였다.

확장 방향 · AFM 단일 장비 회사에서 여러 측정 방식과 핵심 소모품을 함께 제안하는 회사로 넓어지고 있다. 인수한 기술이 실제 공동 제안과 매출로 이어지는지는 별도로 확인해야 한다.

AFM을 중심으로 WLI·DHM·ISE·AVI까지 넓어진 공식 제품 포트폴리오.

지역별 판매·서비스 법인

생산라인 장비는 설치 뒤에도 공정별 튜닝과 빠른 대응이 필요하다. 지역 법인은 판매 창구를 넘어 장비가 후속 공정 수주로 이어지게 하는 현장 지원 거점이다.

AFM 시장의 직접 경쟁 구도

• 직접 경쟁 · Bruker와 Oxford Instruments가 연구·산업용 AFM에서 직접 부딪히는 상대다. 파크시스템스는 비접촉 측정과 XY·Z 분리형 스캐너로 차별화한다.

• 시장 위치 · 회사 IR이 인용한 MarketsandMarkets 추정치 기준 2024년 글로벌 AFM 점유율은 파크시스템스 21.7%, Bruker 15.8%, Oxford Instruments 14.3%다. 회사가 제시한 자료라는 한계는 함께 봐야 한다.

• 확장 경쟁 · KLA는 AFM 한 제품의 경쟁사라기보다 더 넓은 반도체 공정제어 시장의 기준점이다. 파크시스템스는 AFM·WLI·타원계·디지털 홀로그래피를 묶어 측정 범위를 넓히고 있다.

imec 공동개발과 고객 공개 범위

• 공동개발 · imec과 세 번째 공동개발 프로그램에서 차세대 로직·웨이퍼 본딩·3D 패키징용 계측을 함께 개발한다. 개별 고객명이 공개되지 않는 경우가 많아 공급 협의와 양산 수주는 구분해서 읽어야 한다.

실적·자본

• 8월 14일 · 2026년 2분기 실적 · 상반기 매출 924억원, 영업이익 63억원과 수주잔고 현황을 공개했다.

• 6월 8일 · 1,000억원 BW 조달 · 시설·운전자금과 M&A 재원을 확보했고, 신주인수권은 2027년 6월부터 행사할 수 있다.

제품·사업

• 5월 29일 · 2026 IR Day · NX-TSH의 첨단 패키징 적용과 대형 파운드리 공급 협의, 과천 신사옥 활용 계획을 소개했다.

• 4월 30일 · NX1 출시 · 진공이나 극저온 없이 대기 환경에서 원자 분해능 측정을 노리는 연구용 AFM을 공개했다.

• 4월 20일 · imec 공동개발 · 3D 패키징, 웨이퍼 본딩, 차세대 로직용 계측을 2년간 함께 개발한다.

• 4월 · Rocky Mountain Nanotechnology 인수 · 고순도 금속 AFM 프로브를 내재화해 전기적 측정과 소모품 공급망을 보강했다.

• 4월 7일 · 과천 글로벌 본사 개소 · 최대 35대의 산업용 장비를 동시에 다룰 수 있는 클린룸과 데모 랩을 열었다.

예정된 일정

• 9월 9~11일 · KPCA Show 2026 · 인천 송도에서 첨단 패키징·기판용 AFM과 광학 계측 솔루션을 전시할 예정이다.

• 공시·실적 · 2026년 반기보고서 · 2026년 2분기 IR · 2025년 상반기 IR · 2025년 3분기 IR · 2025년 연간 IR · 공식 재무정보

• 자본·경영 · 1,000억원 BW 조달 · 2026 IR Day · 과천 글로벌 본사 개소 · 공식 연혁

• 제품·협력 · NX-Wafer · NX-TSH400TF · AFM 작동 원리 · NX1 출시 · imec 공동개발 · RMN 인수 · MoS2 측정 이미지

• 예정 일정 · KPCA Show 2026